(报告出品方/作者:东方证券,刘洋)
一、金属靶材为薄膜沉积核心材料,广泛用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域
(一)分类方式:按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、记录存储靶材等
靶材按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材。靶材制备位于产业链的中游,从产业链来看,靶材上游原材料材质主要包括纯金属、合金以及陶瓷化合物三类。下游应用市场则较为广泛,但整体来看主要集中在平板显示、信息存储、太阳能电池、半导体四个领域,四大板块约合占比97%。
此外根据其形状、材质不同,溅射靶材也有多种分类方式:
1)按形状分类:可分为长靶、方靶、圆靶和管靶。其中常见的靶材多为方靶、圆靶,均为实心靶材。近年来,空心圆管型溅射靶材由于具有较高的回收利用率,也在国内外得到了一定推广。据立坤钛业